等離子清洗機中產生的等離子體有著*的物理和化學特性，可以用于等離子清洗、等離子活化、等離子刻蝕和等離子沉積等工藝。具體有哪些特性呢?

　　1、電子溫度高，粒子動能大。

　　2、作為帶電粒子的聚集態，具有類似于金屬的導電性能。

　　3、化學性質活潑，比較容易發生化學反應，例如等離子體去除有機物。

　　4、發光特性，可以做各種光源。例如霓虹燈、水銀日光燈都是等離子體發光的現象。
 

　　等離子清洗機中產生的等離子體之所具有以上特性，是因為等離子體內部電子和氣體分子間的碰撞。若碰撞能量小，則會發生彈性碰撞，電子的動能幾乎不會改變。如果碰撞能量很高，分子中繞核運動的低能電子，就會在碰撞中獲得足夠高的能量，被激發至離核較遠的高能級軌道上運動。

　　我們把等離子清洗機中這種處于高能級狀態的分子稱為激發態分子,用XY*表示。激發態分子中的電子從高能級跳回到低能級時，便以發光的形式來釋放多余的能量，由于光的頻率不同就會讓人看到不同的顏色!

　　若碰撞電子的能量足夠高，電子吸收的能量就可以使其脫離核的束縛而成為自由電子，也就是分子發生了電離。電子對分子 XY 的碰撞也可以使之分解成X原子和Y原子(離解)。若用“:”表示分子中的成鍵電子對，則離解過程可以表示為X:Y→X.+.Y; 這就讓帶有未成對電子(用X和Y旁邊的符號·表示)的X，Y就容易發生化學反應，故被稱為化學活性種或者基團(radical)。

　　在等離子清洗機中H，O，CI等游離態的原子和CH3，CF2，SiH3等分子都是基團。為了明確它們不帶電荷的性質，我們稱之為中性基團，以與電離產生的離子性基團相區別開來。