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等離子刻蝕機
產品簡介:

公司自主研發新一代的等離子清洗設備,外觀大方簡潔,質量可靠,性能穩定,廣泛應用于納米材料學,半導體,微電子,光學,電子學,醫藥學,環境學,微流控生物學,LED,石墨烯等不同領域。
主要用于以下實驗:表面清潔、表面活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、器械的消毒、去除表面有機物、疏水實驗、鍍膜

產品型號:PC-6S

更新時間:2025-09-08

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :11585

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產品介紹

產品特點

  1.公司自主研發*等離子體技術,松下高精度數字真空壓力表能實時檢測顯示艙體內真實真空度,提供工藝參數里壓力值的計量依據

  2.不銹鋼腔體,內置電極板無污染,連體艙門更方便和更美觀,艙體、閥體,管路采用耐用防腐蝕材料;

  3.采用電容式等離子激發,真空室等離子體分布均勻,處理效果好,可重復性;

  4.控制系統:5寸彩色觸摸屏英文互動操作界面,自動控制并監測儀器運行參數狀態,設置數據可存儲追溯。

      5.PLC全自動控制全流程,采用施耐德,歐姆龍等進口品牌電器元件,可在線設定,修改監控真空壓力,處理時間,等離子功率等工藝參數,即可一鍵啟動,連續重復運行,J確控制試驗時間、真空度、功率等重要參,程序內設多項安全保護,防止誤操作,對人和儀器做到大保護;

  6.手動、自動兩種模式任意切換,手動模式用于實驗工藝的模擬,自動程序用于批量處理樣品。

  7.可預置多個實驗參數,簡化操作,提高效率。編好程序自動完成整個實驗過程;

  8.使用成本低,無需進行特殊維護,在日常使用中保持儀器清潔即可應用領域;

  9.安全保護:當射頻模塊發生溫度異常升高時,可以自動感知并停止射頻模塊工作,保護樣品,提高設備安全和穩定性;

     10:采用45度傾斜角操作面板設計,人性化操作界面操作起來方便舒適

技術參數:

序號

型號

PC-3S

PC-6S

PC-3D

PC-6D

1

射頻電源

40KHz

40KHz

40KHz

40KHz

2

艙體容積

3L

5L

3L

5L

3

射頻功率

0-200W可調

0-200W可調

0-200W可調

0-200W可調

4

時間設定

1-9959

1-9959

1-9959

1-9959

5

壓力穩定時間

60

60

60

60

6

真空度

101par

101par

101par

101par

7

真空泵

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速8m3/h

8

電 源

AC220V 50/60HZ

AC220V 50/60HZ

AC220V 50/60HZ

AC220V 50/60HZ

9

整機電流

<3A

<3A

<3A

<3A

10

激發方式

電容式

電容式

電容式

電容式

11

氣體控制

單浮子流量計

單浮子流量計

雙浮子流量計

雙浮子流量計

12

艙體尺寸

D265X?95mm

D265X?145mm

D265X?95mm

D265X?145mm

13

艙體材料

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

14

外形尺寸L*W*H

500*300*300MM

500*350*350MM

500*300*300MM

500*350*350MM

15

整機重量

15kg

20kg

15kg

20kg







 

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